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等离子体发生体例

等离子体发生体例有良多种，比方气体放电、射线辐射、光电离、激光和热电离等。此中气体放电是最轻易完成、利用最广泛的发生体例。气体放电的等离子体因电场和频次的差别，具备差别特征，所发生的等离子体可用于等离子洗濯、刻蚀和外表改性。气体放电按电场频次辨别，分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等多品种型。

以上四种等离子发生体🔴例是今朝产业利用中最罕见的，按照差别的等离子特征利用于差别场所。就洗濯利用而言，直流辉光放电等💙离子密度低、效力低，且轻易发生二次溅射净化；微波放电等离子机能最好，但装备布局庞杂、制作和利用本钱高；射频放电体例介于二者之间，离子能量和密度比直流辉光放电高，且等离子不变，而本钱与微波放电装配比拟更低，装备布局更简略，是以射频放电是等离子洗濯装备的最好发生体例。

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